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武漢珺瑜測(cè)控技術(shù)有限公司
PL100龍門氣浮位移臺(tái)

PL100龍門氣浮位移臺(tái)

產(chǎn)地:比利時(shí)

? 行程100 x 100 毫米

? 移動(dòng)平臺(tái)尺寸250 x 250 毫米

? 負(fù)載能力30 公斤

? 速度1 米/秒

? 加速度10 米/秒2

? 編碼器分辨率1 納米

? 重復(fù)性0.1 微米

? 精度 X± 0.3 μm

? 精度 Y± 0.3 μm

? 平整度± 0.3 μm

? XY組合平面度± 1μm

? 直線度 X , Y± 0.3μm

? XY 正交性10 urad

? pitch/yaw/roll:± 3urad/± 3urad/± 3urad

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產(chǎn)地:比利時(shí)

? 行程100 x 100 毫米

? 移動(dòng)平臺(tái)尺寸250 x 250 毫米

? 負(fù)載能力30 公斤

? 速度1 米/秒

? 加速度10 米/秒2

? 編碼器分辨率1 納米

? 重復(fù)性0.1 微米

? 精度 X± 0.3 μm

? 精度 Y± 0.3 μm

? 平整度± 0.3 μm

? XY組合平面度± 1μm

? 直線度 X , Y± 0.3μm

? XY 正交性10 urad

? pitch/yaw/roll:± 3urad/± 3urad/± 3urad

?PL100平面載物臺(tái)有兩個(gè)軸,都懸浮在同一基礎(chǔ)花崗巖上。因此,上軸空氣軸承不會(huì)像堆疊設(shè)置那樣懸浮在下軸上,而是直接懸浮在基礎(chǔ)花崗巖上。兩個(gè)軸可以彼此獨(dú)立移動(dòng),并且兩個(gè)軸之間沒有機(jī)械耦合。主要優(yōu)點(diǎn)是剛度加倍,精度提高。XY運(yùn)動(dòng)平臺(tái)高速移動(dòng),僅懸浮在精密花崗巖底座上方的微米處。無論有無負(fù)載,它都能提供動(dòng)態(tài)、平穩(wěn)和可重復(fù)的運(yùn)動(dòng)。


主要特點(diǎn)

?    行程 100 x 100 mm

?    亞微米精度的高動(dòng)態(tài)平面空氣軸承

?    花崗巖龍門架,精度最高

?    絕對(duì)線性編碼器


完美的解決方案
?    高性能掃描
?    光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)
?    超精密磨削和銑削
?    光伏系統(tǒng)
?    醫(yī)療系統(tǒng)
?    X-射線
?    激光加工
?    半導(dǎo)體行業(yè)

?    晶圓處理


產(chǎn)品規(guī)格


定制設(shè)計(jì)和工程支持
我們提供一系列標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品,但其他尺寸或其他應(yīng)用也是可能的。我們可以靈活地設(shè)計(jì)XY平臺(tái),門架,Z平臺(tái)或其組合。歡迎聯(lián)系我們獲取定制解決方案!