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五軸聯(lián)動激光加工位移臺

定制化多軸氣浮運動臺

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?原產(chǎn)國：比利時?氣浮軸承或氣浮+機(jī)械軸承混合?XY行程300mm – 600mm?負(fù)載50kg – 150kg?可集成旋轉(zhuǎn)A軸和B軸實現(xiàn)5軸聯(lián)動?定位精度 < ± 0.5um?重復(fù)定位精度 < ± 0.1um?平面度全行程內(nèi) < 1um?直線度全行程內(nèi) < 1um
平面式氣浮運動臺Planar Stages

定制化多軸氣浮運動臺

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產(chǎn)地：比利時 ?空氣軸承給出的運動平坦度 ?在θ中無限旋轉(zhuǎn)?雙Z集成：用于裝載/卸載的粗行程和用于焦點調(diào)整的精細(xì)行程?Z軸重力補償器?可通過移動 Y1 和 Y2 電機(jī)來完成偏航校正?可與主動隔離系統(tǒng)進(jìn)一步集成?X 和 Y 的行程可以延長，但對性能有一些限制
XY龍門結(jié)構(gòu)位移臺

定制化多軸氣浮運動臺

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?原產(chǎn)國：比利時?氣浮軸承或氣浮+機(jī)械軸承混合?XY行程300mm – 600mm?負(fù)載50kg – 150kg?可集成Z軸升降功能?定位精度 < ± 0.5um?重復(fù)定位精度 < ± 0.1um?平面度全行程內(nèi) < 1um?直線度全行程內(nèi) < 1um
4軸龍門結(jié)構(gòu)--直線位移臺+旋轉(zhuǎn)臺

定制化多軸氣浮運動臺

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?原產(chǎn)國：比利時?整體長度2.4m?行程1000mm?水平直線度±0.4um?垂直直線度±0.4um?最小運動量0.1um?俯仰±2urad?翻滾±3urad?搖擺±3urad
PL100龍門氣浮位移臺

定制化多軸氣浮運動臺

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產(chǎn)地：比利時? 行程100 x 100 毫米? 移動平臺尺寸250 x 250 毫米? 負(fù)載能力30 公斤? 速度1 米/秒? 加速度10 米/秒2? 編碼器分辨率1 納米? 重復(fù)性0.1 微米? 精度 X± 0.3 μm? 精度 Y± 0.3 μm? 平整度± 0.3 μm? XY組合平面度± 1μm? 直線度 X ， Y± 0.3μm? XY 正交性10 urad? pitch/yaw/roll:± 3urad/± 3urad/± 3urad
PL300龍門氣浮位移臺

定制化多軸氣浮運動臺

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產(chǎn)地：比利時? 行程300 x 300 毫米? 移動平臺尺寸250 x 250 毫米? 負(fù)載能力30 公斤? 速度1 米/秒? 加速度10 米/秒2? 編碼器分辨率1 納米? 重復(fù)性0.1 微米? 精度 X± 0.4μm? 精度 Y± 0.4μm? 平整度± 0.5μm? XY組合平面度± 1 μm? 直線度 X ， Y± 0.5 μm? XY 正交性10 urad? pitch/yaw/roll:± 5urad/± 5urad/± 5urad

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