服務(wù)熱線:18086051405
郵箱:sales@ulabsystem.com
?原產(chǎn)國:比利時
?整體長度2.4m
?行程1000mm
?水平直線度±0.4um
?垂直直線度±0.4um
?最小運(yùn)動量0.1um
?俯仰±2urad
?翻滾±3urad
?搖擺±3urad
?原產(chǎn)國:比利時
?整體長度2.4m
?行程1000mm
?水平直線度±0.4um
?垂直直線度±0.4um
?最小運(yùn)動量0.1um
?俯仰±2urad
?翻滾±3urad
?搖擺±3urad
這個定制開發(fā)的XXZ?-motion系統(tǒng)長2.4米,包含兩個水平氣浮工作臺,每個工作臺的行程為1米。它們都在同一個花崗巖底座上運(yùn)行,保證了完美的排列。在一個水平氣浮臺上,建立一個垂直氣浮臺,容納一個標(biāo)準(zhǔn)的RT150S空氣軸承旋轉(zhuǎn)臺。所有軸都可以用我們的運(yùn)動控制器或商用控制器驅(qū)動和同步。
主要特點(diǎn)
? 行程 1000 mm
? 亞微米精度的高動態(tài)平面空氣軸承
? 花崗巖龍門架,精度最高
? 絕對線性編碼器
完美的解決方案
? 高性能掃描
? 光學(xué)檢測系統(tǒng)
? 超精密磨削和銑削
? 光伏系統(tǒng)
? 醫(yī)療系統(tǒng)
? X-射線
? 激光加工
? 半導(dǎo)體行業(yè)
? 晶圓處理
產(chǎn)品規(guī)格
定制設(shè)計(jì)和工程支持
我們提供一系列標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品,但其他尺寸或其他應(yīng)用也是可能的。我們可以靈活地設(shè)計(jì)XY平臺,門架,Z平臺或其組合。歡迎聯(lián)系我們獲取定制解決方案!