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平面式氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)Planar Stages
產(chǎn)地：比利時(shí)
?空氣軸承給出的運(yùn)動(dòng)平坦度
?在θ中無(wú)限旋轉(zhuǎn)
?雙Z集成：用于裝載/卸載的粗行程和用于焦點(diǎn)調(diào)整的精細(xì)行程
?Z軸重力補(bǔ)償器
?可通過(guò)移動(dòng) Y1 和 Y2 電機(jī)來(lái)完成偏航校正
?可與主動(dòng)隔離系統(tǒng)進(jìn)一步集成
?X 和 Y 的行程可以延長(zhǎng)，但對(duì)性能有一些限制
產(chǎn)地：比利時(shí)
?空氣軸承給出的運(yùn)動(dòng)平坦度
?在θ中無(wú)限旋轉(zhuǎn)
?雙Z集成：用于裝載/卸載的粗行程和用于焦點(diǎn)調(diào)整的精細(xì)行程
?Z軸重力補(bǔ)償器
?可通過(guò)移動(dòng) Y1 和 Y2 電機(jī)來(lái)完成偏航校正
?可與主動(dòng)隔離系統(tǒng)進(jìn)一步集成
?X 和 Y 的行程可以延長(zhǎng)，但對(duì)性能有一些限制
該平臺(tái)是一個(gè)專用于步進(jìn)和掃描應(yīng)用的混合平面機(jī)械/空氣軸承平臺(tái)。它是一個(gè)在 X、Y、Z 和 Theta 方向上移動(dòng)的 6 軸平臺(tái)。整個(gè)行程中的動(dòng)態(tài)平坦度以及雙向可重復(fù)性是關(guān)鍵參數(shù)。該平臺(tái)目前用于：
晶圓工藝控制應(yīng)用，如臨界尺寸和薄膜計(jì)量。
晶圓劃線
晶圓激光熱退火
它還可用于生產(chǎn)線后端光刻機(jī)（掩模對(duì)準(zhǔn)器）和某些晶圓切割應(yīng)用。
該平臺(tái)具有以下特點(diǎn)：
空氣軸承給出的運(yùn)動(dòng)平坦度
在θ中無(wú)限旋轉(zhuǎn)
雙Z集成：用于裝載/卸載的粗行程和用于焦點(diǎn)調(diào)整的精細(xì)行程
Z軸重力補(bǔ)償器
可以通過(guò)稍微移動(dòng) Y1 和 Y2 電機(jī)來(lái)完成偏航校正
可與主動(dòng)隔離系統(tǒng)進(jìn)一步集成
X 和 Y 中的行程可以延長(zhǎng)，但對(duì)性能有一些限制
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