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武漢珺瑜測控技術(shù)有限公司
五軸聯(lián)動激光加工位移臺

五軸聯(lián)動激光加工位移臺

?原產(chǎn)國：比利時

?氣浮軸承或氣浮+機(jī)械軸承混合

?XY行程300mm – 600mm

?負(fù)載50kg – 150kg

?可集成旋轉(zhuǎn)A軸和B軸實現(xiàn)5軸聯(lián)動

?定位精度 < ± 0.5um

?重復(fù)定位精度 < ± 0.1um

?平面度全行程內(nèi) < 1um

?直線度全行程內(nèi) < 1um


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?原產(chǎn)國：比利時

?氣浮軸承或氣浮+機(jī)械軸承混合

?XY行程300mm – 600mm

?負(fù)載50kg – 150kg

?可集成旋轉(zhuǎn)A軸和B軸實現(xiàn)5軸聯(lián)動

?定位精度 < ± 0.5um

?重復(fù)定位精度 < ± 0.1um

?平面度全行程內(nèi) < 1um

?直線度全行程內(nèi) < 1um


高精度五軸激光加工位移臺采用歐洲先進(jìn)的氣浮技術(shù)，XY軸平面式氣浮結(jié)構(gòu)，Z軸交叉滾柱結(jié)構(gòu)，同時集成AB旋轉(zhuǎn)軸，用于半導(dǎo)體加工、檢測、微納加工等行業(yè)。采用絕對線性編碼器，擁有亞微米精度的高動態(tài)平面空氣軸承。

主要特點

?五軸聯(lián)動結(jié)構(gòu)

?2D、2.5D和3D精密激光加工

?圖形化操作界面，支持多種格式CAD文件直接上傳和再設(shè)計

?可集成主流品牌激光器

?多種模式激光脈沖同步控制

?支持無限視場技術(shù)Infinite Field of View

?支持XY21-100和SL2-100等協(xié)議振鏡

?支持對振鏡的Calibration和Field Flattening

?支持對Camera的Autofocus和Alignment



產(chǎn)品主要技術(shù)指標(biāo)


全氣浮5軸聯(lián)動運(yùn)動控制系統(tǒng)包括Planar XY軸，AB旋轉(zhuǎn)軸，Z軸，5軸控制器(含Pulse on Demand功能)，激光微加工操作軟件。

1、Planar XY軸：
1.1、氣浮軸承, X軸/Y軸的行程≥300 mm；
1.2、速度≥1000 mm/秒；
1.3、X軸/Y軸定位精度≤±0.4 μm；
1.4、X軸/Y軸重復(fù)定位精度≤0.1 μm；
1.5、直線度/平面度≤±0.5 μm, 300*300 mm范圍內(nèi)XY的整體平面度≤±1 μm；
1.6、Pitch/Roll/Yaw≤±5 μrad；
 
2、AB旋轉(zhuǎn)軸：
2.1、氣浮軸承；
2.2、A軸/B軸端跳≤50nm；A軸/B軸徑跳≤100nm；
 
3、Z軸：
3.1、行程≥50mm；
3.2、重復(fù)定位精度≤±0.1μm；
3.3、直線度/平面度≤±1μm；
 
4、5軸控制器：
4.1、5軸驅(qū)動控制系統(tǒng)
4.2、支持與激光脈沖基于位置同步的Pulse on Demand功能；
 
5、激光微加工操控軟件：
5.1、圖形化操作界面；
5.2、支持五軸聯(lián)動;
5.3、兼容主流振鏡和camera, 并內(nèi)置校準(zhǔn)等功能

產(chǎn)品特點：


基于氣浮軸承的5軸聯(lián)動運(yùn)動控制系統(tǒng)，經(jīng)過專門的設(shè)計和優(yōu)化，結(jié)合了高動態(tài)和高精度，并根據(jù)加工任務(wù)，可以集成一個或多個激光器和振鏡系統(tǒng)。通過C軸和A軸兩個旋轉(zhuǎn)單元，以及高性能連續(xù)路徑控制，該系統(tǒng)可以完美實現(xiàn)2.5D、3D和自由曲面加工 。同時，視加工精度的實際需求，所有5軸包括龍門均可提供機(jī)械軸承系統(tǒng)選配，確?？蛻粼趯嶋H預(yù)算內(nèi)獲得最理想的配置與性能。
 
視實際加工需求, 控制器系統(tǒng)兼容市場上主流的超快激光器和振鏡系統(tǒng)。




定制設(shè)計和工程支持
我們提供一系列標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，但其他尺寸或其他應(yīng)用也是可能的。我們可以靈活地設(shè)計XY平臺，門架，Z平臺或其組合。歡迎聯(lián)系我們獲取定制解決方案！