服務(wù)熱線:18086051405
郵箱：sales@ulabsystem.com
RT500S高精度氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)
產(chǎn)地：比利時(shí)
? 直徑500mm
? 負(fù)載830kg
? 角精度≤±1arcsec或±2.9arcsec可選
? 端跳＜100nm
? 徑跳＜50nm
產(chǎn)地：比利時(shí)
? 直徑500mm
? 負(fù)載830kg
? 角精度≤±1arcsec或±2.9arcsec可選
? 端跳＜100nm
? 徑跳＜50nm
RT500S具有超高的速度穩(wěn)定性，臺(tái)面直徑500mm，負(fù)載高達(dá)830Kg，端跳小于100nm，徑跳小于50nm，是您尋找的具有卓越的運(yùn)動(dòng)性能、高剛度和高承載能力的旋轉(zhuǎn)空氣軸承平臺(tái)的首選！RT-S系列的設(shè)計(jì)包含頂級(jí)空氣軸承，電機(jī)和編碼器，可實(shí)現(xiàn)出色的角度定位和速度穩(wěn)定性。高分辨率編碼器系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)最終穩(wěn)定的定位和速度跟蹤。大通孔便于滑環(huán)集成，光學(xué)或其他饋通。
應(yīng)用領(lǐng)域：
? 計(jì)算機(jī)斷層掃描
? X-射線
? 超精密加工
? 激光加工
? 光學(xué)檢查
? 半導(dǎo)體應(yīng)用
? 醫(yī)療行業(yè)的測(cè)試系統(tǒng)
? 用于尺寸測(cè)量系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)軸
? 慣性導(dǎo)航
? 精密重力測(cè)量
產(chǎn)品規(guī)格
Rotary Stage RT500S | |
Max. axial load 最大軸負(fù)載 | 830Kg |
Max. radial load 最大側(cè)向負(fù)載 | 257Kg |
Axial stiffness 軸剛性 | 1660 N/μm |
Radial stiffness 側(cè)向剛性 | 514 N/μm |
Tilt stiffness 搖擺剛性 | 37,4 Nm/μrad |
Radial error motion 端跳誤差 | < 100 nm LSC |
Axial error motion 軸誤差 | < 50 nm LSC |
Resolution分辨率 | <0.1arcsec，取決于細(xì)分比（4× ~ 20000×） |
Repeatability重復(fù)精度 | <0.5 arcsec 或者2倍分辨率 |
Air consumption 耗氣量 | < 100 Nl/min |
Total mass 重量 | 175 kg |
Encoder 編碼器 | 47200 periods |
Nominal torque 標(biāo)稱扭矩 | 3,0 Nm |
Peak torque 峰值扭矩 | 9,0 Nm |
Max. speed 最大速度 | 60 rpm |
Angular accuracy 角精度 | ±1arcsec或±2,9 arcsec可選 |
Material 材料 | stainless steel |
產(chǎn)品尺寸
運(yùn)動(dòng)控制
該旋轉(zhuǎn)臺(tái)可配備運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器和軟件。該軟件提供易于編程的定位循環(huán)，自動(dòng)歸位程序以及與機(jī)器接口的通信。集成了壓力供應(yīng)失敗時(shí)產(chǎn)生安全停止的緊急程序。此外，圖形用戶界面將設(shè)置時(shí)間降至最低。
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