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武漢珺瑜測控技術(shù)有限公司
RT250S高精度氣浮轉(zhuǎn)臺

RT250S高精度氣浮轉(zhuǎn)臺

產(chǎn)地:比利時

? 直徑250mm  

? 負(fù)載80kg  

? 角精度≤±1arcsec或±4arcsec可選

? 端跳<100nm

? 徑跳<50nm

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產(chǎn)地:比利時

? 直徑250mm  

? 負(fù)載80kg  

? 角精度≤±1arcsec或±4arcsec可選

? 端跳<100nm

? 徑跳<50nm

RT250S具有超高的速度穩(wěn)定性,端跳小于100nm,徑跳小于50nm,負(fù)載可達(dá)80Kg,是您尋找的具有卓越的運動性能、高剛度和高承載能力的旋轉(zhuǎn)空氣軸承平臺的首選!RT-S系列的設(shè)計包含頂級空氣軸承,電機(jī)和編碼器,可實現(xiàn)出色的角度定位和速度穩(wěn)定性。高分辨率編碼器系統(tǒng)可實現(xiàn)最終穩(wěn)定的定位和速度跟蹤。大通孔便于滑環(huán)集成,光學(xué)或其他饋通。

應(yīng)用領(lǐng)域:
?    計算機(jī)斷層掃描
?    X-射線
?    超精密加工
?    激光加工
?    光學(xué)檢查
?    半導(dǎo)體應(yīng)用
?    醫(yī)療行業(yè)的測試系統(tǒng)
?    用于尺寸測量系統(tǒng)的運動軸
?    慣性導(dǎo)航
?    精密重力測量


產(chǎn)品規(guī)格


Rotary Stage RT250S
Max. axial load 最大軸負(fù)載 804 N
Max. radial load 最大側(cè)向負(fù)載 452 N
Axial stiffness 軸剛性 402 N/μm
Radial stiffness 側(cè)向剛性 226 N/μm
Tilt stiffness 搖擺剛性 2380 Nm/mrad
Radial error motion 端跳誤差 < 100 nm LSC
Axial error motion 軸誤差 < 50 nm LSC
Resolution分辨率 <0.1arcsec,取決于細(xì)分比(4× ~ 20000×)
Repeatability重復(fù)精度 <0.5 arcsec 或者2倍分辨率
Air consumption 耗氣量 < 15 Nl/min
Total mass 重量 16,5 kg
Encoder 編碼器 40000 periods
Nominal torque 標(biāo)稱扭矩 1,5 Nm
Peak torque 峰值扭矩 4,5 Nm
Max. speed 最大速度 120 rpm
Angular accuracy 角精度 4,0 arcsec
Material 材料 coated aluminium


尺寸






















































































運動控制

該旋轉(zhuǎn)臺可配備運動驅(qū)動器和軟件。該軟件提供易于編程的定位循環(huán),自動歸位程序以及與機(jī)器接口的通信。集成了壓力供應(yīng)失敗時產(chǎn)生安全停止的緊急程序。此外,圖形用戶界面將設(shè)置時間降至最低。