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產(chǎn)地:比利時(shí)
? 直徑150mm
? 負(fù)載72kg
? 角精度≤±6.9arcsec
? 端跳<20nm
? 徑跳<20nm
產(chǎn)地:比利時(shí)
? 直徑150mm
? 負(fù)載72kg
? 角精度≤±6.9arcsec
? 端跳<20nm
? 徑跳<20nm
RT150U這款同類最佳的超精密旋轉(zhuǎn)平臺(tái),具有超低誤差運(yùn)動(dòng)(低于20 nm)和世界一流的運(yùn)動(dòng)性能,臺(tái)面直徑150mm,負(fù)載可達(dá)72.6Kg。無與倫比的設(shè)計(jì)融合了無與倫比的精度和準(zhǔn)確性。如慣性導(dǎo)航、圓度測量系統(tǒng)、微觀和納米層析成像、超精密制造、半導(dǎo)體行業(yè)、醫(yī)療和研究設(shè)備等。
應(yīng)用領(lǐng)域:
? 計(jì)算機(jī)斷層掃描
? X-射線
? 超精密加工
? 激光加工
? 光學(xué)檢查
? 半導(dǎo)體應(yīng)用
? 醫(yī)療行業(yè)的測試系統(tǒng)
? 用于尺寸測量系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)軸
? 慣性導(dǎo)航
? 精密重力測量
產(chǎn)品規(guī)格
Rotary Stage RT150U | |
Max. axial load 最大軸負(fù)載 | 726 N |
Max. radial load 最大側(cè)向負(fù)載 | 264 N |
Axial stiffness 軸剛性 | 242 N/μm |
Radial stiffness 側(cè)向剛性 | 88 N/μm |
Tilt stiffness 搖擺剛性 | 204 Nm/mrad |
Radial error motion 端跳誤差 | < 20 nm LSC |
Axial error motion 軸誤差 | < 20 nm LSC |
Resolution分辨率 | <0.1arcsec,取決于細(xì)分比(4× ~ 20000×) |
Repeatability重復(fù)精度 | <0.5 arcsec 或者2倍分辨率 |
Air consumption 耗氣量 | < 20 Nl/min |
Total mass 重量 | 15,2 kg |
Encoder 編碼器 | 23600 periods |
Nominal torque 標(biāo)稱扭矩 | 0,5 Nm |
Peak torque 峰值扭矩 | 1,5 Nm |
Max. speed 最大速度 | 200 rpm |
Angular accuracy 角精度 | 6,9 arcsec |
Material 材料 |
stainless steel |
運(yùn)動(dòng)控制
該旋轉(zhuǎn)臺(tái)可配備運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器和軟件。該軟件提供易于編程的定位循環(huán),自動(dòng)歸位程序以及與機(jī)器接口的通信。集成了壓力供應(yīng)失敗時(shí)產(chǎn)生安全停止的緊急程序。此外,圖形用戶界面將設(shè)置時(shí)間降至最低。