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RT150S高精度氣浮轉(zhuǎn)臺
產(chǎn)地：比利時
? 直徑150mm
? 負(fù)載43kg
? 角精度≤±6.9arcsec
? 端跳＜100nm
? 徑跳＜50nm
產(chǎn)地：比利時
? 直徑150mm
? 負(fù)載43kg
? 角精度≤±6.9arcsec
? 端跳＜100nm
? 徑跳＜50nm
RT150S中檔旋轉(zhuǎn)平臺具有出色的承載能力和低誤差運動性能。臺面直徑150mm，軸向負(fù)載43.4Kg，端跳＜100nm，徑跳小于50nm，同時具有超高的速度穩(wěn)定性。低高度和大通孔使該旋轉(zhuǎn)平臺成為所有測量和檢測任務(wù)的全方位解決方案。RT-S系列的低調(diào)設(shè)計包含頂級空氣軸承，電機和編碼器，可實現(xiàn)出色的角度定位和速度穩(wěn)定性。大通孔便于滑環(huán)集成，光學(xué)或其他饋通。
應(yīng)用領(lǐng)域：
? 計算機斷層掃描
? X-射線
? 超精密加工
? 激光加工
? 光學(xué)檢查
? 半導(dǎo)體應(yīng)用
? 醫(yī)療行業(yè)的測試系統(tǒng)
? 用于尺寸測量系統(tǒng)的運動軸
? 慣性導(dǎo)航
? 精密重力測量
產(chǎn)品規(guī)格
| Rotary Stage RT150S | |
| Max. axial load 最大軸負(fù)載 | 43.4 Kg |
| Max. radial load 最大側(cè)向負(fù)載 | 22.6 Kg |
| Axial stiffness 軸剛性 | 217 N/μm |
| Radial stiffness 側(cè)向剛性 | 113 N/μm |
| Tilt stiffness 搖擺剛性 | 455 Nm/mrad |
| Radial error motion 端跳誤差 | < 100 nm LSC |
| Axial error motion 軸誤差 | < 50 nm LSC |
| Resolution分辨率 | <0.1arcsec，取決于細(xì)分比（4× ~ 20000×） |
| Repeatability重復(fù)精度 | <0.5 arcsec 或者2倍分辨率 |
| Air consumption 耗氣量 | < 10 Nl/min |
| Total mass 重量 | 4,0 kg |
| Encoder 編碼器 | 23600 periods |
| Nominal torque 標(biāo)稱扭矩 | 0,45 Nm |
| Peak torque 峰值扭矩 | 1,35 Nm |
| Max. speed 最大速度 | 200-800 rpm |
| Angular accuracy 角精度 | 6,9 arcsec |
| Material 材料 | coated aluminium |
產(chǎn)品圖片
尺寸圖
運動控制
該旋轉(zhuǎn)臺可配備運動驅(qū)動器和軟件。該軟件提供易于編程的定位循環(huán)，自動歸位程序以及與機器接口的通信。集成了壓力供應(yīng)失敗時產(chǎn)生安全停止的緊急程序。此外，圖形用戶界面將設(shè)置時間降至最低。
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